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真空電鍍的基本流程包括以下幾個步驟:
清洗:將待鍍物表面清洗,以去除表面油脂、氧化物和其他污染物,以保證后續(xù)真空鍍膜的附著力。
貼膜:將待鍍物表面粘上玻璃、陶瓷或者金屬膜,以保護(hù)基材表面不被污染或腐蝕。
抽真空:通過機(jī)械泵或者分子泵的抽氣,將真空室內(nèi)的壓力逐漸降至0.01 Pa以下的高真空環(huán)境。
加熱:對待鍍物表面加熱至一定溫度,通常為300~500℃之間,以提高材料的本征蒸汽壓力,有利于后續(xù)的蒸發(fā)和沉積。
蒸發(fā):將電子束蒸發(fā)源、陰極噴槍、磁控濺射噴槍等裝置中的材料加熱蒸發(fā),使其成為離子狀態(tài),經(jīng)由真空室內(nèi)的電離和加速過程達(dá)到表面沉積目標(biāo)的待鍍物上。
鍍膜:材料蒸發(fā)后,在待鍍物表面形成金屬薄膜或其他類型的薄膜,其厚度和均勻度可以通過控制蒸發(fā)源的功率、間距、掃描等方式進(jìn)行控制。
結(jié)束處理:在完成沉積后,需要進(jìn)行清洗、檢驗(yàn)和包裝,以確保鍍層質(zhì)量和使用壽命。